EUV 光刻機光源

• 詳細介紹
• 詳細參數

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  TEUS-S100

  EUV light source 技術規格

  主要規格

  激光平均功率100W

  最大脈沖重復率25kHz

  EUV光源可收集角度0.05sr

  帶寬轉化效率 (13.5 nm±1%) 輻射2% @2π·sr

  帶寬ЕUV通量內角度收集碎片緩減系統 (13.5nm±1%)8.5mW

  帶寬波段內碎片減緩系統的光譜亮度 (13.5nm±1%)90W/mm2·sr

  等離子大小*60um

  等離子穩定性**3% RMS

  設備使用周期和維護要求

  在運行模式下，無需使用特殊的膜過濾器，收集器壽 命可降解1%0not less than 12 months

  使用一種特殊的膜過濾器，在運行模式下運行，可降 第收集器壽命not less than 24 months

  每8個月保養一次8 hours

  24/7運行模式下的正常運行時間4 months

  電源，設備尺寸和規格

  電源6.5 kW

  尺寸(L×W×H)1400×1000×1200mm

  重量，包括激光配件770Kg

  設備要求

  房間清潔程度ISO7

  水流量10L/min

  
  

• 詳細參數

• 產品特色

  因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容，AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點（TCP）的 突然改變或偏離，并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。

  AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術，Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統，被應用于離線的機器人單元校準，并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中，該系統專為程序控制和復原而設計的，價格低廉。

• 詳細介紹

  AutoCal系統提供在線的機器人校準方案，旨在快速和自動地保證機械設備的工作性能。因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容，AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點（TCP）的 突然改變或偏離，并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。這意味著不用猜測哪里會出錯，不用浪費寶貴時間在機器人程序重復校準上，產品品質無任何損失。

  AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術，Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統，被應用于離線的機器人單元校準，并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中，該系統專為程序控制和復原而設計的，價格低廉。