上海埃飛科技
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產品展示
極紫外光源
Resonance EUV無窗口光源是一種射頻激發的流動光源,在EMI屏蔽外殼中有一個細管孔。這個光源可以安裝在33.78毫米或更大的CF型法蘭上。 燈組件有一個整體的射頻勵磁機,它由一個小的電源供電。這種供應足以在每秒鐘10個光子的范圍內產生主要中性稀有氣體的排放。
Resonance EUV無窗口光源是一種射頻激發的流動光源,在EMI屏蔽外殼中有一個細管孔。這個光源可以安裝在33.78毫米或更大的CF型法蘭上。
燈組件有一個整體的射頻勵磁機,它由一個小的電源供電。這種供應足以在每秒鐘10個光子的范圍內產生主要中性稀有氣體的排放。
Resonance公司生產的EUV流動型光源系統可以配置為無窗口的EUV輻射源,也可以配置可更換LiF或MgF2窗口的光源。該系統具有可互換的窗口,可用于產生超過LiF 104nm的輻照。如果再接入一個Resonance公司生產的VM系列單色儀,這將作為一個波長從58nm-800nm的可調光源。
輸入功率
110-240V
電源
20W RF
波長范圍
58-800nm
電流
0.5A @ 110V max.
重量
800g
強度
>10E15 photons/sec/str(major spectral lines)
真空接口
2.75 inch CF flange standard
因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容,AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點(TCP)的 突然改變或偏離,并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。
AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術,Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統,被應用于離線的機器人單元校準,并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中,該系統專為程序控制和復原而設計的,價格低廉。
AutoCal系統提供在線的機器人校準方案,旨在快速和自動地保證機械設備的工作性能。因用于機器人各方面應用且與大多數機器人類型兼容,AutoCal系統可以檢測出機器人自身構造和工具中心點(TCP)的 突然改變或偏離,并且該系統無需人為干涉就自動地更正這些誤差。這意味著不用猜測哪里會出錯,不用浪費寶貴時間在機器人程序重復校準上,產品品質無任何損失。
AutoCal系統-Dynalog的先進水平校準技術,Dynalog是機器人單元標定技術的世界領導者。它的主流產品DynaCal 系統,被應用于離線的機器人單元校準,并作為最精確的和技術先進的機器人校準程序為許多機器人制造商和終端使用者所接受。AutoCal 系統將已證實的DynaCal校準技術結合到一個在線的全自動系統中,該系統專為程序控制和復原而設計的,價格低廉。